详细摘要： 封闭式干涉式激光尺利用微型激光干涉仪，以工业应用中最重要的线型标定为核心，将光学相干光路等集成在单个光电芯片上，一步实现激光干涉仪的线型测长和标定功能，从而简化...

详细摘要： MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉仪将参考光路内置于干涉仪中，将光学相干光路等集成在单个光电芯片上，一步实现激光干涉仪的线型测长和标定功能，从而简化...