您好, 欢迎来到化工仪器网
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 正置 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5万-10万 | 配备图像分析系统 | 否 |
半导体/FPD检查显微镜MX61L，透反射照明型显微镜是OLYMPUS MX61型号的升级版本，L即为长工作距离，适用大300mm的样本，大平台的显微镜。
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。
产品简介
详细介绍
大平台显微镜奥林巴斯OLYMPUS MX61L
OLYMPUS MX61/61L 产品特点缩短检查用时，提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选，通用型及高数值孔径型。为FPD，MASK板检查提供合适的照明，并且可配备起偏镜，实现投射光简易偏光观察。高反差，更高分辨率，更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式共聚焦附件 U-CFU荧光分光镜模块共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦，获得高分辨率，高反差的共焦图像。
备有U.B.G等多种荧光方式可选，用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件，甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口，使得用PC控制显微镜电动部分成为可能，并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。包括专门的红外物镜等附件，对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正，用于IC深层或内部检查，可实现对WAFER BUMP的全面检查。
其他推荐产品
更多产品-
面议