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1200℃-PECVD管式炉系统

1200℃-PECVD管式炉系统
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号 STGC-60-12
  • 品牌 三特炉业
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地 洛阳市

更新时间:2023-11-16 14:30:53浏览次数:272

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产品简介
产地类别 国产 加热方式 电阻式
价格区间 面议 控温精度 ±1℃
升温速度(达到最高温) 90/min 仪器种类 管式炉
应用领域 综合 最高温度 1200℃
【产品名称】1200℃-PECVD管式炉系统
【炉管尺寸】φ40--φ100mm
【加热区】300mm/440mm
【额定温度】1200℃
【控温精度】±1℃
【应用领域】PECVD系统(等离子增强化学气相沉积系统)由管式炉、真空获得、流量控制和射频电源四大模块组成。

 商品描述

【产品名称】1200℃-PECVD管式炉系统

【炉管尺寸】φ40--φ100mm

【加热区】300mm/440mm 

【额定温度】1200℃

【控温精度】±1℃ 

【应用领域】1200℃-PECVD管式炉系统(等离子增强化学气相沉积系统)由管式炉、真空获得、流量控制和射频电源四大模块组成,   本设备借助13.56Mhz的射频输出使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子的强化学活性,改善反应条件,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术,最终得到基片上沉积出所期望的薄膜。


性能特点:
CVD管式炉系统由
管式炉、真空获得、流量控制和射频电源

管式炉可选择不同的管径和恒温区的长度,炉管两端装有高真空不锈钢密封法兰;

真空获得系统可根据试验要求选择不同的真空泵,旋片式机械真空泵真空度≤5pa,分子泵真空机组真空度1×10-4pa;

气路供气系统可选择3路浮子手动和3路自动质量流量系统

真空测量数字复合真空机或皮拉尼真空计

等离子体放电选择13.56Mhz的设备电源,功率输出可选择200W、300W和500W

管式炉可选择单温区300mm和440mm,也可选择三温区或多温区进行温度的梯度试验

温控器内置的RS485数字通信端口和USB适配器作为可选配置,可连接PC,用于系统的远程控制和监视,还可以保存或导出测试结果。

产品符合欧盟CE标准。



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