-Filmetrics膜厚测量仪

Filmetrics F40-EXR 搭配 SS-Microscope-EXR-1系统
-Filmetrics膜厚测量仪的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数，通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析，几秒钟内就可测量结果。当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行，或者其他应用要求光斑小至1微米时，F40是不错的选择。

Filmetrics-F40薄膜厚度测量仪-膜厚仪

       结合显微镜的薄膜测量系统

       

Filmetrics F40 SS-Microscope-VIS-1系统                                  Filmetrics F40-UV SS-Microscope-UVX-1系统

      Filmetrics的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数，通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析，几秒钟内就可测量结果。

      当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行，或者其他应用要求光斑小至1微米时，F40是您优先的选择。使用先前足部校正显微镜的物镜，再进行测量，即可获得的厚度及光学参数值。只要透过Filmetrics的C-mount连接附件，F40就可以和市面上多数的显微镜连接使用。C-mount上装备有CCD摄像头，可以让用户从电脑屏幕上清晰地看样品和测量位置。

* 取决于材料

1.使用5X物镜参考

2.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2 薄膜样品连续测

量100次所得厚度值的标准偏差的平均值

3.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2薄膜样品连续测

量100次所得厚度值的2倍标准偏差的平均值

选择Filmetrics的优势

• 桌面式薄膜厚度测量

• 24小时电话，邮件和在线支持

• 所有系统皆使用直观的标准分析软件

附 加 特 性

• 嵌入式在线诊断方式

• 免费离线分析软件

• 精细的历史数据功能，帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果

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• 光刻胶                               • 聚合物/聚对二甲苯

• 氧化物/氮化物                         • 生物膜/球囊壁厚度

• 硅或其他半导体膜层                       • 植入药物涂层

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• 光刻胶                                • 盒厚

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