| 注册| 产品展厅| 收藏该商铺

行业产品

当前位置:
东莞市晟鼎精密仪器有限公司>>半导体退火炉>> RTP-SA-12半自动快速退火炉

半自动快速退火炉

返回列表页
  • 半自动快速退火炉
  • 半自动快速退火炉
收藏
举报
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号 RTP-SA-12
  • 品牌 晟鼎
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地 东莞市
在线询价 收藏产品

更新时间:2024-02-04 13:45:02浏览次数:440

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!

同类优质产品

更多产品

产品简介

温度范围 室温~1250℃ 最高升温速度 ≤25℃/s(SiC载盘)
温控方式 快速PID温控 温度控制重复性 ±1℃
半自动快速退火炉RTP-SA-12是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统,可兼容4-12英寸晶圆Wafer。

详细介绍

半自动快速退火炉RTP-SA-12是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统,可兼容4-12英寸晶圆Wafer。

半导体快速退火炉的产品优势

✅采用红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;

✅快速PID温控,可精准控制温度升温,保证良好的重现性和温度均匀性;

✅采用平行气路进气方式,气体进出口设置在晶圆表面,避免退火过程中冷点产生,保证良好的温度均匀性;

✅大气与真空处理方式均可选择,实现进气前气体净化处理;

✅标配两组工艺气体,最多可扩展至6组工艺气体。

638330741041785312967.jpg


晟鼎精密核心产品系列有接触角测量仪、等离子清洗机、USC干式超声波除尘清洗机、离子静电消除装置、半导体快速退火炉等表面性能处理及检测仪器设备。

收藏该商铺

登录 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我们将在第一时间回复您~
二维码 意见反馈
在线留言