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| 温度范围 | 室温~1250℃ | 最高升温速度 | ≤25℃/s（SiC载盘） |
|---|---|---|---|
| 温控方式 | 快速PID温控 | 温度控制重复性 | ±1℃ |
产品简介
详细介绍
半自动快速退火炉RTP-SA-12是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统，可兼容4-12英寸晶圆Wafer。
半导体快速退火炉的产品优势
✅采用红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；
✅快速PID温控，可精准控制温度升温，保证良好的重现性和温度均匀性；
✅采用平行气路进气方式，气体进出口设置在晶圆表面，避免退火过程中冷点产生，保证良好的温度均匀性；
✅大气与真空处理方式均可选择，实现进气前气体净化处理；
✅标配两组工艺气体，最多可扩展至6组工艺气体。
晟鼎精密核心产品系列有接触角测量仪、等离子清洗机、USC干式超声波除尘清洗机、离子静电消除装置、半导体快速退火炉等表面性能处理及检测仪器设备。