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数字式质量流量控制器产品特点
测量质量流量
无需温度和压力补偿
结构紧凑
精度高
工作压力高
响应时间快
重复性高
数字式质量流量控制器技术参数
量程范围：5SCCM-1500SLPM
精度：±1%满量程
量程比：50：1
重复性：<0.2%读数
操作温度：-10~50℃
泄露率：< 2 x 10-9mbar l/s He
预热时间：标准30min
压力等级：3MPa;10MPa
接液材质：316L
密封材质：标准Viton，可选EPDM、Kalrez
防护等级：IP40
供电电源：+15~24VDC
电流：70mA
模拟量输出信号：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC
数字输出信号：无
电气接口：标准DB9 M
过程接口尺寸：可选
数字式质量流量控制器订货参数
气体种类
量程范围（标准状态下量程）
使用压力
入口压力
使用温度
精度要求
输出信号
过程接口尺寸
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