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linetech质量流量控制器

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产品型号M3030V

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更新时间：2023-01-05 12:42:19浏览次数：2498次

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产品简介
韩国linetech质量流量控制器耐压90bar，可测量腐蚀性气体，结构紧凑，重复性高，响应时间快，性价比高，可广泛用于设备配套。韩国LINETECH经济型气体质量流量控制器Z大流量可测到300SLPM，质量流量计的Z大流量可测到1000SLPM。

详情介绍

一、linetech质量流量控制器产品特点

  • 测量质量流量
  • 无需温度和压力补偿
  • 结构紧凑
  • 精度高
  • 工作压力高
  • 响应时间快
  • 重复性高

二、linetech质量流量控制器技术参数

型号

质量流量计

质量流量控制器

流量范围(N2)

  10SCCM~1000SLPM

  10SCCM ~ 300slpm

  响应时间

  <2 sec

  <2 sec

精准度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重复精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  输入/输出信号

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供电电源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

 耐压

  <90bar

  0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,

100-300SLPM,<15bar

工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范围

  2 ~ 100%

  2~ 100%

 

三、linetech质量流量控制器接口尺寸

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