2.75/4.5“/6.0''-美国SVT RF/射频等离子源_美国SVT RF等离子源/射频等离子源-北京中精仪科技有限公司

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产品分类 品牌分类

产地类别	进口	应用领域	道路/轨道/船舶,航空航天,汽车及零部件,电气

美国SVT RF/射频等离子源产品简介：
美国SVT公司的RF等离子源适用于多个公司多种型号。
法兰接口包括： 2.75''、4.5''、6''。
等离子源用于离解双原子氮、氧和氢。离解过程中不会产生高能离子。
产生的束流含有零离子，有助于生长高质量的薄膜，也可以在不损伤衬底表面的情况下清洗衬底。

美国SVT RF/射频等离子源适用于多个公司多种型号

法兰接口包括： 2.75''、4.5''、6''。

等离子源用于离解双原子氮、氧和氢。离解过程中不会产生高能离子。

产生的束流含有零离子，有助于生长高质量的薄膜，也可以在不损伤衬底表面的情况下清洗衬底。

高生长率等离子体源能够在生长速率大于4μm/hr的情况下生长高质量的薄膜。

光阑和等离子腔形状可以顾客定制，以满足客户对不同流量的需求。

软件作为可选项，能够实现自动操作，允许用户保存数据，编写工艺程序。

美国SVT RF/射频等离子源特点

可提供N²、O²、H²等离子源

生长速率大于4μm/hr

源设计有等离子体观察窗口

光阑和等离子腔形状可以客户定制

RF自动调节可选