匀胶机SmartCoater100系列

北京泰诺鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ）专业生产销售实验仪器设备。EasyCoater和SmartCoater系列匀胶机、烤胶机、提拉镀膜机、电解双喷减薄仪、低温恒温设备等实验室设备，公司技术力量雄厚、工艺装备*、制造经验丰富、产品质量可靠、售后服务周到，在信誉上深受用户信赖。

SC100-SE匀胶机SmartCoater100系列高精密匀胶机主要性能指标：

主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

旋涂程序：zui多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圆晶）

旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

SC100-SE匀胶机SmartCoater100系列高精密匀胶机 产品特性优点：

的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

on ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，*生锈，便于清洗。

排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

SC100-SE高精密匀胶机产品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构

使用客户：中科院半导体所南京大学上海理工大学南京邮电大学中科院物理所中国科学技术大学北京航天九院清华大学易美芯光（北京）科技有限公司等。

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  北京泰诺鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ/）主要产品EasyCoater和SmartCoater系列匀胶机、烤胶机、提拉镀膜机、电解双喷减薄仪、低温恒温设备等。随着生命科学行业的蓬勃发展，诺源仪器也将迎来新的机遇和挑战，我们将一如既往地向着目标努力：致力于成为*的实验室集成供应商。我司欢迎您的。

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