原装panasonic晶圆定位传感器操作模式 返回列表页

原装panasonic晶圆定位传感器操作模式
使用环境温度 0～+40℃(注意不可结露)，存储时：-20～+55℃
投光元件 红色LED(投光波峰波长：650nm)
使用环境照明度 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度3,000lx以下
耐电压 AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间
缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10～150Hz　双振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 加速度490m/s2(约50G)　X,Y和Z方向各3次
受光元件 光电二极管
材质 本体外壳：PEI、前罩部：玻璃、安装基座：铝
电缆 耐热PVC电缆0.5m末端带连接器
低消耗电流70mA以下
检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
虽然使用红色LED作为光源，但仍然具有激光传感器同样的高，因此可实现高精度检测。
无需光轴调整
投、受光部体型，无需繁琐的光轴调整。并且，检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域，可对应各种不同尺寸的晶圆。
配备系数和偏移量调整功能
模拟输出(1～5V)除了系数调整功能之外，还具备方便的偏移调整功能，可在±0.5V的范围内转换模拟电压。
使用环境湿度 35～85%RH、存储时：35～85%RH

使用安全的红色LED作为光源，无需任何繁杂的安全措施。无需使用激光时*的保护罩，在美国使用时不需要符合FDA标准。
使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降zui低限度，维护轻松。

原装panasonic晶圆定位传感器操作模式

安装方式：