Parker派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上*微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）的性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.
减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，这样大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.
Parker派克SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean? 316L不锈钢。Vericlean? 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22?。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合，使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.
SMSQ2Micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.
Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列市场:
✈半导体
✈分析试验室
✈制药
✈生物制药
✈航空航天
✈工业
特点和优势:
✈有C 和 W密封贴面安装1-1/8和1-1/2
Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀体尺寸
✈极低粒子数
✈束缚膜片有效减少接液部件的弹簧，增加安全性
✈SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv
✈出口压力范围： -10 psig 到 60 psig
✈内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He
✈外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
✈5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理
✈工作压力范围：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)
应用:
✈腐蚀性和特殊气体
✈半导体工具
✈工具挂钩
✈气体柜
✈阀组箱 (VMB)
Parker派克汉尼汾调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀门优点:
- 符合SEMI模块化接口规范
- 易于部件改装
- 标准的哈氏合金C-22? 提升阀芯和膜片
- 占地面积小，可与Veriflo Quantum阀门的间距相同
- 标准的全内部电抛光
- 没有弹簧或螺纹暴露在湿润区域中
- 极低的颗粒数
- 有0.06和0.15 Cv两种规格可供选择
Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo阀门相关型号：
订货号 流体容量（Cv） 压力范围（psig） 型号
45800745-1 0.06 30 psig SMSQ2MICRO30102
54015923-1 0.06 30 psig SMSQ2MICRO30602
45800745-2 0.06 60 psig SMSQ2MICRO60102
54015923-2 0.06 60 psig SMSQ2MICRO60602
45800978-1 0.15 30 psig SMSQ2MICRO130E30102
45800978-2 0.15 60 psig SMSQ2MICRO130E60102
54016395-2 0.15 60 psig SMSQ2MICRO130E60602
另外还有一个SMSQ2MICRO130E30602独立型号。45800978-2
Parker派克调压阀SMSQ2Micro系列Veriflo
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