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◆ 三轴CNC控制系统，全自动测量；
◆ 三轴精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ 全鼠标、手柄操作，简单易用；
◆ 可程控8区环形表面光源，LED轮廓光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
产品简介
详细介绍
仪器特点
◆ 三轴CNC控制系统，全自动测量；
◆ 三轴精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ 全鼠标、手柄操作，简单易用；
◆ 可程控8区环形表面光源，LED轮廓光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ Vispec全自动影像测量软件（经济版）；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
技术参数
型号 VME222
VME322
VME432
VME542
行程(mm)
200×200×200
300×200×200
400×300×200
500×400×200
外部尺寸(mm)
1040×700×1620
1040×700×1620
1240×800×1620
1440×900×1620
重量(kg)
150
160
200
250
承重(kg)
25
25
25
25
测量精度
XY轴*
E2=(3.0+L/200)µm
E2=(3.5+L/200)µm
Z轴**
E1=(5.0+L/200)µm
速度
XY轴
200mm/S
Z轴
100mm/S
光栅尺
1.0µm分辨率
CCD
SONY 1/2"CCD 黑白/彩色
光源
轮廓光
LED冷光源，256级亮度可调
表面光
1环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调
光学系统***
6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326
软件
Vispec测量软件（经济版）
运动控制
自主的CNC直流伺服系统
保修期
1年
工作环境
温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%
振动<0.002g，低于15Hz
电源
220V/50Hz/10A