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当前位置：上海添时科学仪器有限公司>>制膜设备>>磁控溅射镀膜>> VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪
1、配置两个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。
2、可制备多种薄膜，应用广泛。
3、体积小，操作简便。
技术参数：
| 产品名称 | VTC-600-1HD单靶磁控溅射仪 | |
| 产品型号 | VTC-600-1HD | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | |
| 1、水:设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） | ||
| 2、电：AC220V 50Hz,必须有良好接地 | ||
| 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）,需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀 | ||
| 4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 | ||
| 5、通风装置：需要 | ||
| 主要参数 | 1、输入电源：220V/50Hz | |
| 2、溅射靶数量：2 | ||
| 3、靶枪冷却方式：水冷 | ||
| 4、极限真空度：7.4E-5pa | ||
| 5、真空室规格：Φ300×330 mm | ||
| 6、真空系统：VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵 | ||
| 7、恢复真空：系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min（系统短时间暴露大气） | ||
| 8、充气系统：2路质量流量计（１路氩气100scc、２路氩气200scc）特殊气体可定制 | ||
| 9、溅射靶规格：Φ2",厚度0.1-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） | ||
| 10、样品台：Φ140mm/可旋转（1～20rpm）/可加热（室温～1000℃） | ||
| 产品规格 | 主机尺寸：宽900mm×深650mm×高1100mm | |
