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2025
04-212025
04-16如何优化PECVD等离子体增强气相沉积过程以提高薄膜质量和沉积均匀性?
PECVD等离子体增强气相沉积是一种广泛应用于制备薄膜材料的技术。为提高薄膜质量和沉积均匀性,可从以下几个关键方面进行优化。一、工艺参数的精细调控1、功率控制射频(RF)功率是PECV...2025
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