应用

● 去除分子级别的污染物
● 紫外光固化粘合剂
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蚀
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

主要参数

● 功率：最大350W

● AC 208~240V，单相 50/60Hz

紫外灯

● 可发出双波长的水银灯

● 功率：55W

● 发出光的波长：254 nm 和 185 nm

● 使用寿命：2500 小时（可更换）

● 照射区域：200 x 200 mm

排气口

● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端

● 请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外

● 仪器中不包含橡胶管

外形尺寸：

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

净重：28kg

腔体&样品台

● 不锈钢壳体

● 抽屉式样品台，以便放样取样

● 样品台面积310 mm x 320 mm

● 臭氧通风装置安装在腔体上

● 样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调）

● 样品台可以加热，最高温度可达150℃

● 可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃

● 设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时

环境要求

● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;

● 温度范围：41-104华氏度;

● 最大相对湿度80％，最高87华氏度，104华氏度线性降至50％相对湿度;

● 主电源波动不超过额定电压的10％;

● 污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb。

保修期 ：一年保修，终身技术支持。

特别提示：

1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。