Micro Mirro Array-微镜阵列_微机械激光扫描镜-北京锦坤科技有限公司

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Micro Mirro Array微镜阵列

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型号 Micro Mirro Array
品牌
厂商性质 生产商
所在地 北京市

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更新时间：2022-08-11 07:13:14浏览次数：1240

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【简单介绍】

此系列产品为微镜阵列，即采用微光机电光束偏转镜组成的镜面整列。适用波长可从深紫外至近红外（DUV to NIR, 193nm~1500nm）。镜面可由256×256个微镜面组成，每个镜面为16um*16um。扫描频率可达1KHz。可用做图形的产生，可编程掩膜板等。

【详细说明】

微镜阵列的特点：此系列产品为微镜阵列，即采用微光机电光束偏转镜组成的镜面整列。适用波长可从深紫外至近红外（DUV to NIR, 193nm~1500nm）。的镜面可由256×256个微镜面组成，每个镜面为16um*16um。扫描频率可达1KHz。可用做图形的产生，可编程掩膜板等。
Example of micro mirror array for extended spectral range
256 x 256 micro mirrors
16 μm x 16 μm mirror pitch
Frame rate 1 kHz
Analogue mirror tilting
Illumination wavelengths : 193 … 1500 nm

Applications
Pattern projection （real time grey levels）
Programmable masks
Structured / programmable illumination