晶圆表面用纳米级别二氧化硅微粒子标液
【简单介绍】
【详细说明】
晶圆表面用纳米级别二氧化硅微粒子标液
供应商:上海瑞贝贸易有限公司
产品名称:
SiO2微粒子标准溶液
纳米级别二氧化硅
SiO2标准粒子
晶圆表面用二氧化硅
NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液,微粒子尺寸从18nm到200nm都选择,是市面上理想、质量较高的校正标准,适用于新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。
*进的半导体检查技术已经发展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正,但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷,当UV光重复打在PSL球形化粒子上,将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳的质量,因此SiO2微粒子是较好的替代产品。
NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有 的SiO2合成技术,以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布,从目前小的微粒子尺寸来看,NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸均匀,适合做尺寸大小峰值的量测的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品,加上ISO 9000与SEMI的认证,让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。
NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴,让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限,而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。
产品优势
•尺寸大小分布均匀
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下拥有稳的质量
•高浓缩度微粒子悬浮溶液
产品效益
•易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值
•避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性
•适合气胶产生设备使用
•提供耐久校正标准给先*进的检测设备使用
•省钱而且耗用量少
相关产品
- 染色粒子 聚苯乙烯
- 超顺磁性荧光聚合物粒子 聚苯乙烯基质
- 超顺磁性聚合物颗粒 聚苯乙烯或二氧化硅
- 表面官能化粒子 三聚氰胺树脂 聚苯乙烯
- LucyPlex多重检测 流式细胞
- 荧光粒子 三聚氰胺树脂 聚苯乙烯 PMMA
- 溯源NIST标准粒子 聚苯乙烯或聚二乙烯基苯
- 单分散颗粒 三聚氰胺树脂 聚苯乙烯 PMMA
- 多壁纳米管
- 单壁纳米管
- 氧化钇粉末
- 二氧化硅纳米粒子
- 氧化镁纳米粒子
- 六硼化镧纳米粒子
- 氧化铜纳米粒子
- 碳酸钙纳米粒子
- 超级活性炭纳米粒子
- 金刚石纳米粒子
- 氧化硼纳米粒子
- 钛酸钡纳米粒子
- 金纳米颗粒
- 氧化铝纳米粒子
- 勃姆石纳米颗粒
- 晶圆表面用二氧化硅
- SiO2标准粒子
- 纳米级别二氧化硅
- SiO2微粒子标准溶液
- Cellulose Acetate Spheres美国cospheric粒子
- 晶圆表面用纳米级别二氧化硅微粒子标液
- 链霉亲和素包被的荧光微球
- 羊抗人IgG抗体包被的荧光微球
- 美国贝克曼库尔特流式细胞仪用彩虹荧光微球
- 美国Technology中空玻璃微球
- 40nm-2000nm美国二氧化硅纳米颗粒
- 美国国家标准技术研究院NIST标准物质材料
- 美国cospheric粒子,粉红色醋酸纤维素微球
- 美国cospheric粒子,黑色醋酸纤维素微球
- 美国cospheric粒子,黄色醋酸纤维素微球
- 美国cospheric粒子,绿色醋酸纤维素微球
- 美国cospheric粒子系列
请输入产品关键字:
邮编:200127
联系人:丁怡
电话:13801662380
传真:
手机:13801662380
留言:发送留言
个性化:www.51062120.com
手机站:m.51062120.com
网址:www.51062120.com
商铺:https://www.chem17.com/st238816/