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| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 管式炉 | 应用领域 | 环保,化工,能源,电子/电池 |
我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。
产品简介
详细介绍
等离子体增强回转PECVD系统
该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0~35°可调。
此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。
等离子体增强回转PECVD系统 技术参数Technical Parameters
Furnace加热炉 | |
Max. Tem最高温度 | 1200℃ |
Heating zone length加热区长度 | 440mm |
Constant zone length恒温区长度 | 200mm |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节 智能化30段可编程控制 超温和断偶报警功能 操作界面为7"工控电脑 |
Heating Elements 加热元件 | 电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
Temperature Accuracy 控温精度 | +/- 1℃ |
Processing tube 炉管 | 尺寸：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm 炉管转速：3~13r/min |
Furnace body inclination angle | 0~35°（adjustable） |
PE source PE源 | |
Signal frequency信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
Power output range功率输出范围 | 0-500W |
RF output interface射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
Power stability功率稳定性 | ≤5W |
Gas supply system气路系统 | |
High precision mass Flowmeter（Range optional） | 高精度质量流量计（量程可选） |
Accuracy准确度 | ±1.5% |
Response accuracy响应精度 | ·±0.2% |
Response time响应时间 | 气特性 电特性 |
Working pressure difference range工作压差范围 | 0.1～0.5MPa |
Max. pressure最大压力 | ·3MPa |
Connection 连接头类型 | Φ6mm双卡套不锈钢接头 |
Vacuum unit真空系统 | |
KF25 series bellows and manual stopper valves | 采用KF25系列波纹管和手动挡板阀 |
Vacuum up to10-1Pa | 真空度可达10-1Pa |
The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester | 数显真空测试仪可直观的显示数值 |