光刻胶-2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯

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光刻胶-2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯

光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。可用于深硅刻蚀，适合于深宽比工艺，透明度，垂直度好。

中文名称：2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯

英文名称：2-Methyl-2-adamantyl acrylate

别称：丙烯酸2-甲基金刚烷-2-基酯

CAS号：249562-06-9

分子量：220.307

密度：1.1±0.1 g/cm3

沸点：284.4±9.0 °C at 760 mmHg

分子式：C14H20O2

熔点：N/A

MSDS：N/A

闪点：114.6±16.1 °C

紫外负性光刻胶

紫外正性光刻胶

聚酰亚胺光刻胶

共价键合单分子树脂光刻胶

单分子分子玻璃光刻胶

微米尺度光刻胶

锍鎓盐键合的分子玻璃单分子光刻胶

电子束光刻胶

共价键合单分子HPS-MSF树脂光刻胶

辐射线光刻胶

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