中试装置的作用在于对半导体前驱体的生产工艺、产品性能等进行中间规模的试验和验证。通过中试,可以进一步优化生产工艺参数,评估产品的质量和稳定性,以及考察其在实际生产中的可行性和可扩展性。
这些中试装置的建设和运行,有助于推动半导体前驱体材料的研发和产业化进程,满足半导体行业不断发展对先进材料的需求。同时,也有利于打破国外技术垄断,提升我国在半导体领域的整体竞争力。
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