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| 供货周期 | 现货 |
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产品简介
详细介绍
产品描述
CMPro-M系列P-高通量(PP)熔喷深层滤芯由复合结构的聚丙烯滤材制备而成，用于CMP slurry输送系统（SDS）的过滤。其梯度设计使其能够很好地应对化学机械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）浆料过滤的挑战。锥形孔结构使CMPro-M系列P-高通量(PP)熔喷深层滤芯在优秀的颗粒拦截效率和高纳污量之间实现了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破坏性的大颗粒，并且保持过滤前后有效颗粒粒径分布（PSD）保持不变。CMPro-M可满足多种不同的CMP应用场景，包括氧化物CMP，浅沟槽隔离CMP 和金属配线CMP等。
产品特点
梯度过滤结构，确保滤芯的过滤效率
锐利的效率曲线，显著提升尺寸过大颗粒的去除率，同时减少有效颗粒的去除
优化使用寿命，降低成本
制造过程中不添加表面活性剂和粘结剂，减少析出
典型应用
产品保证
工作特性
| 材 料 | 过滤层/支撑层 | 聚丙烯 |
| 中心杆/端盖 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| 精度 | 3.0μm, 5.0μm, 7.0μm, 9.0μm, 11.0μm | |
| 尺寸规格 | 外径 | 64mm |
| 长度 | 10inch, 20inch | |
| 最大使用条件 | 最大正向压差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) |
| 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ˚C (179 ˚F) | ||
| 最大反向压差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) | |
| 最高使用温度 | 80 ˚C (176 ˚F) | |
产品尺寸
流量-压差曲线图
