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目录:科睿设备有限公司>>超高真空组件>> 等离子体原子/离子源-真空组件

等离子体原子/离子源-真空组件
  • 等离子体原子/离子源-真空组件
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
参考价 面议
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  • 品牌 其他品牌
  • 型号
  • 厂商性质 代理商
  • 所在地 上海市
属性

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更新时间:2025-02-27 13:59:40浏览次数:2584评价

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产地类别 国产 应用领域 电子/电池,电气,综合
等离子体原子/离子源-真空组件
产生感应耦合等离子体,包括氮气,氧气和氢气等分子气体。使用1个射频线圈(频率13.56MHz),能量将转化为等离子体,这会产生仅具有低离子能量的"软"等离子体。
我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,*与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。

等离子体原子/离子源-真空组件

等离子体原子/离子源
   我司提供等离子体源是通过将气体分离来产生感应耦合等离子体,包括氮气,氧气和氢气等分子气体。使用1个射频线圈(频率13.56MHz),能量将转化为等离子体,这会产生仅具有低离子能量的"软"等离子体。
我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,*与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。

等离子体原子/离子源-真空组件

应用范围:
氧化物
氮化物
掺杂

配置参数:
多种型号不同功率RF等粒离子体源可选;
在等离子体源终端位置可添加离子束加热器
自动匹配网络
等粒子体监测
手动/自动 挡板
放电管
适用气体,如O2, N2, H2, CH4等
占用空间小
冷却水流量低,
气体流速可控


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