ULVAC 日本爱发科 多级罗茨型干式真空泵通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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ULVAC 日本爱发科 螺杆型干式真空泵通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。从大气压到极限压力...

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