ULVAC 涡旋式干式真空泵通过固定涡旋壁(固定涡轮)与对面涡旋壁(从动涡轮)的偏心运动,进行排气的真空泵。

ULVAC 多级罗茨型干式真空泵大排气量、小型尺寸。不会发生真空油的返流和油雾。无摩擦部分、长寿命。

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ULVAC 空冷式多级罗茨型干式真空泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵溅射设备等的loading/unloadi...

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ULVAC 空冷式多级罗茨型干式真空泵通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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