半导体/FPD检查显微镜

产品编号： 4239494016
产品名称： 半导体/FPD检查显微镜 MX61
规　　格： MX61
产品备注： 产地：日本
产品类别： 光学测量仪器


江西南昌半导体/FPD检查显微镜产 品 说 明
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。

UIS2物镜形成的鲜明的观察影像
考虑了检查效率的设计
支持缺陷检测的多种功能
帮助实现多种观察的附件

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。

zui大程度校正了色差的平面复消色差物镜。是世界上*以95%以上的弥散比例保证了光学性能（波像差）的通用型号物镜。对应微分干涉观察、简易偏振光观察和AF单元（奥林巴斯U-AFA2MA产品）。

有着高水准的色差校正的半复消色差透镜设计的通用物镜。不仅在明视场观察中，在荧光、微分干涉和简易偏振光观察中都能发挥性能。明暗视场观察请使用BD系列产品。

特别在偏振光、微分干涉观察中能发挥性能的通用物镜。

在对比度的决定上起重要作用的亮度光圈（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和亮度光圈（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知，能够防止错误操作。

为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

MX61能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存可以在手中快速完成。

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

每次变换物镜时都需要调节亮度光圈（AS）的话，会影响检查速度。MX61对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），仅切换物镜就能以zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

对应200 mm晶圆的MX-SIC8R采用了内置离合器的载物台夹子，可切换粗调和细调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，从而提高了检查速度。

根据的DUV光学设计，实现了减少光晕、图像分辨极限达80nm的高对比度影像。可以在低倍率可见光线到DUV环境下进行连续观察。

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

江西南昌
机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射 反射/透射
照明装置 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明 纤维光导
对焦单元 电动/手动 手动
行程 32 mm
分辨率/微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm
zui大样本高度 30 mm
物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式 -
载物台 行程 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm
观察筒 广角视场（视场数22） 倒置 双目/三目观察筒
正像 三目观察筒
超宽视场（视场数26.5） 倒置 三目观察筒
正像 倾斜三目观察筒
附件单元 DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 509（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合）
重量 40 kg（标准组合