X-RAY XDLM237x射线荧光镀层测厚仪

设计用途

能量色散X射线荧光镀层测厚及材料分析仪 (EDXRF) 用来测量薄镀层和微小结构， 分析合金和微量组分。

元素范围

从元素 氯(17) 到 铀(92) 配有可选的WinFTM? BASIC软件时，zui多可同时测定24种元素

形式设计

台式仪器，测量门向上开启

测量方向

从上到下

X射线管

带铍窗口的微聚焦钨管

高压

三档： 30 kV，40 kV，50 kV

孔径（准直器）

标准（523-440）

可选（523-366）

可选（524-061）

4个可切换准直器

[mm]: ?0.1, ?0.2, 0.05x0.05, 0.2x0.03 [mm]: ?0.1, ?0.2, ?0.3, 0.3x0.05 [mm]: ?0.1, ?0.2, 0.3 x 0.05, 0.05x0,05 其他可按要求定制

基本滤片

3种可切换的基本滤片（标准配置：镍，铝，无）

测量点

取决于测量距离及使用的准直器大小， 实际的测量点大小与视频窗口中显示的* zui小的测量点大小: 光圈约? 0.1 mm（选用准直器0.05x0.05 mm时）

X射线接收器

测量距离

比例接收器

0 ~ 80 mm，使用保护的DCM测量距离补偿法

视频系统

高分辨率CCD彩色摄像头，沿着初级X射线光束方向观察测量位置 手动聚焦，对被测位置进行监控 十字线（带有经过校准的刻度和测量点尺寸） 可调节亮度的LED照明，激光光点用于定位样品

放大倍数

40x - 160x

电源要求

交流 220 V 50 Hz

功率

zui大 120 W (不包括计算机)

保护等级

IP40

外部尺寸

宽x深x高[mm]：570 x 760 x 650

内部测量室尺寸

重量

宽x深x高[mm]：460 x 495 x 146

120kg

工作台

设计

马达驱动可编程X/Y平台

zui大移动范围                    255 × 235 mm

X/Y平台移动速度                ≤ 80 mm/s

X/Y平台移动重复精度            ≤ 0.01 mm, 单向

可用样品放置区域                300 × 350 mm

Z轴                            可编程运行

Z轴移动范围                    140 mm

样品zui大重量                    5 kg，降低精度可达20kg

样品zui大高度                    140 mm

环境要求

使用时温度

10°C – 40°C

存储或运输温度

0°C – 50°C

空气相对湿度

≤ 95 %, 无结露

计算单元

计算机

带扩展卡的计算机系统

软件

标准： WinFTM? V.6 LIGHT 可选： WinFTM? V.6 BASIC，PDM?，SUPER

执行标准

CE合格标准

EN 61010

X射线标准

DIN ISO 3497和 ASTM B 568

型式批准

安全而保护全面的测量仪器， 型式许可符合德国“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V"法规规定。

订货号

FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 237

604-347