主要特点

• 通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
• 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
  
• 设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体。
• 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

参数

• 电源：AC220V  50/60Hz
• 输出功率：7.2W、10.2W、29.6W
• 真空泵功率：<500W
• 总功率：<600W 
• 射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节
• 等离子腔体：高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗
• 真空泵：24L/min，直连式双旋真空泵
• 极限真空度：50mtorr
• 通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定）

产品规格

• 尺寸：400mm×300mm×300mm
• 重量：10.2kg

可选配件

• 2″-6″石英舟（盛放基片）
• 2-4通道质子或浮子混气系统

质保期

一年质保期，终身维护