输入电源

• AC 220V , 50/60 Hz, 
• zui大射频功率: 100 W 
• 真空泵功率: < 500W
• 总功率: < 600W

射频功率

• 射频功率可在 0 - 100W之间调节
• 射频:   13,56 MHz
• 可以与本公司工作人员采用300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验

等离子腔体

• 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体
• 铝制折叠式法兰来进行真空密封
• 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

控制面板

• 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.
• 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量

真空泵

• 仪器中包括一台240L/min直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。
• 极限真空度为50mTorr



 
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通入气体

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）

可选

• 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
• 可选购2-4通道质子或浮子混气系统
  

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

质保期

一年质保期，终生维护