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日本电测荧光X-Ray镀层测厚仪EX-731
日本电测荧光X-Ray镀层测厚仪EX-731替代老型号EX-3000
EX-731规格参数：
测量台操作方式 | 手動 | 自動 | ||||
测量行程 | 单位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |||
移動量 | X(mm) | 70 | 80 | |||
Y(mm) | 70 | 60 | ||||
Z(mm) | 80（測定物高zui大150） | 50 | ||||
測定物高（zui大） | 80（150可选） | 50 | ||||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||||
重量(kg) | 79 | 85 | ||||
测量台载重(kg) | 3 | 1 | ||||
電源 | AC200V±10V | |||||
X線源 | 油浸式小型微焦点Ｘ線管 | |||||
照射方式 | 上面垂直照射方式 | |||||
検出器 | 比例計数管 | |||||
准直孔 | 5種類(自動切換式) | |||||
样品观察 | CCD镜头 | |||||
測定対象 | 原子番号22(Ti)～82(Pb) | |||||
滤波器 | (Co、Ni)自動切換 | |||||
厚度测定范围 | 原子番号22～24：0.2～約20μm | |||||
検量線 | 検量線自動作成 | |||||
测量功能 | 単层膜厚測定 | |||||
测量模式 | 自動测量 | |||||
自動测量台功能 | 測定位置(X-Y-Z) 測定位置确认功能 | |||||
数据処理機能 | 統計量表示：平均、標準偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk | |||||
EX-731可测量厚度元素种类：
