迈可诺技术有限公司
主营产品: 美国Laurell匀胶机,WS1000湿法刻蚀机,Cargille光学凝胶,EDC-650显影机,NOVASCAN紫外臭氧清洗机 |
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参考价 | 面议 |
更新时间:2024-05-17 13:03:04浏览次数:435
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子,电气 |
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占地面积小的桌面系统,兼容无尘室。
占地面积小的桌面系统(< 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺)
具有超快 MFC 的高温兼容快速脉冲 ALD 阀,用于集成惰性气体吹扫。
4 英寸圆形卡盘可定制,适用于较小尺寸或其他形状(11 毫米高)。
3 种有机金属前体和 2 种(最多 3 种)反反应物。
整个加热管线(从前体到腔室)。
高曝光(用于沟槽和多孔基板)和静态处理模式
全铝(半导体级)腔室 ‒ 范围高达 310°C
7″ 触摸屏 PLC 控制器(无需 PC)
包括终身软件升级
1 年保修(包括零件)
AT610
全铝(半导体级)腔室 ‒ 范围高达 310°C
具有超快 MFC 的高温半导体级快速脉冲 ALD 阀,用于集成惰性气体吹扫。
6″ 圆形卡盘(7″ 方形)可定制为更小的尺寸或其他形状(11 毫米高)。
流线型腔体设计,腔体体积小
3 种有机金属前体和 2 种(最多 3 种)反反应物。
前体可以加热到 150°C。
整个加热管线(从前体到腔室)。
简单的系统维护和市场上的公用事业和前体使用
高曝光(用于沟槽和多孔基板)和静态处理模式
7″ 触摸屏 PLC 控制器(无需 PC)