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泵轴位置 | 其他 | 输送介质 | 其他 |
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叶轮数目 | 其他 | 应用领域 | 电子,综合 |
Brooks CTI低温泵
CTI低温泵产品是在低温高真空技术领域*,CTI先进的低温泵及低温泵系统设计带来了*的表现,可靠性和生产能力,无论从单个低温泵用于高技术研究领域,还是到复杂的低温泵系统用于半导体生产,数据存储,平板显示,和光学器件,CTI为低温高真空技术制订了标准。
CTI-Cryogenics Products/CTI系列产品
On-Board® IS Cryopump Systems
On-Board® Cryopumps
On-Board® Waterpumps
Cryo-Torr® Cryopumps
Cryo-Torr® 20HP High Performance Cryopump
Compressors
Cryodyne Refrigerators
CTI 智能低温泵产品优势:
1. 专门为离子植入制程所设计的新一代智能型低温泵系统.
2. 砖利的分布式监控系统及个别调整低温泵功能,以维持系统真空效能,提供制程所需的一致性
3. 快速再生系统和可同时控制多组低温泵
4. 节能设计,不需消耗太多能源和冷却水
5. 安装容易,使用方便。
6. 加强型 GOLDLink 软件提供远程监测预防和预测性维护
Brooks CTI低温泵
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