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pfeiffer（普发）分子泵

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点：

1、 四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s

2、 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速

3、 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘

4、 高气流量，即使对于分子量较大的气体

5、 集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般电源

6、 支援腐蚀气体

7、 带节气阀门的集成密封气体系统

8、 标准接口界面：RS-485 以及远程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供选择

9、 符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境

10、符合 Semi S2 规范

11、符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域：

1. 玻璃及刀具镀膜 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5.半导体生产

产品规格：

pfeiffer（普发）分子泵