干涉仪 ：根据光的干涉原理制成的种仪器。将来自个光源的两个光束分并，各自经过不同的光程，然后再经过合并，可显出干涉条纹。在光谱学中，应用的迈克尔逊干涉仪可以准确而详细地测定谱线的波长及其细结构。
维护
1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。
2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜般不允许擦拭，擦拭时，须用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花滴上酒和混合液轻拭。
3、传动件应有良好的润滑。别是导轨、丝杆、螺母与轴孔分，应用T5仪表油润滑。
4、使用时，各调整位用力要适当，不要强旋、硬扳。
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。
6、 经过调整的仪器件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。
应用
（1）几何度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。
（2）位置度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位度、重复定位度、微量位移度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可zui大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到*度，另外操作者具有机床参数及补偿方法的知识。
目前，可供选择的补偿软件有Fanuc,Siemens 800系列，UNM，Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。
（3）数控转台分度度的检测及其自动补偿 现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能行回转轴的自动测量。它可对意角度位置，以意角度间隔行自动测量，其度达±1。新的际标准已使用该项新。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到整的回转轴度曲线，知晓其度的每细节，并给出按相关标准处理的统计结果。
（4）双轴定位度的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某轴向运动的定位度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别行补偿。
（5）数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态性测量与评估软件，可用激光干涉仪行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态性分析，伺服驱动系统的响应性分析，导轨的动态性（低速爬行）分析等
