岛津企业管理（中国）有限公司
红外光谱法分析光刻胶的主成分
检测样品：光刻胶
检测项目：成分分析
方案概述：光刻胶是微电子制造的核心材料之一，具有极高的技术壁垒，其成分配方工艺对光刻产品的性能具有重大影响。本文探索建立红外光谱定性分析光刻胶主要成分的方法，通过测试烘干光刻胶溶剂前后的红外光谱图，结合标准谱库和官能团分析等手段，可获得光刻胶中主要成分信息。该法具有分析速度快、操作简单、成本低和结果可靠等优势，可作为分析光刻胶成分的手段之一。
光刻胶工艺和质量直接关系微电子制造的性能和可靠性,其主成分及杂质分析是质量控制和研发的重要内容。红外光谱仪是分析材料成分的有力工具,具有测试速度快、成本低、结果可靠等优点，可为光刻胶的成分鉴别提供重要可靠数据支撑。
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