核心特点:
1、可测微观尺寸范围:0.5-1000微米;
2、套刻算法软件系统可换算9大套刻工艺参数;
3、高精度开放式线性反馈系统可测点距范围:1.0-200毫米;
4、全面的观察手段:自由切换透射、反射、环形照明及明、暗场观察法;
5、配备安全的电气及操作防护系统,保障运行更安全稳定。
用途:
1. 微观尺寸、套刻分析
2. 点距测量3. 缺陷标注
4. 晶相粒度检查 /材料分析
型号
TJC-750
工作台
行程:110mm x 110mm
220mm x 220mm
手动/自动工作台可选
自动上下片装卸装置可选
反馈系统
线性光栅反馈系统
解析率:
1.0um/ 0.1um
聚焦
电动聚焦系统
影像/ 激光自动聚焦可选
探测系统
高品质工业用显微镜及数字成像系统,5x~150x 物镜可选
照明方式
透射、反射照明可选
可切换明、暗场观察法
软件系统
全功能图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能
检查性能
微观尺寸检测3σ<10纳米
套刻检测
3σ<5纳米,全行程点距误差 ±10微米
隔震系统
气浮隔震系统
紧凑电气操控
标配外观尺寸
长:1200mm 宽:800mm 高:1500mm