型号:Wibon-2K
核心功能描述:
1)采用体视显微系统,综合放大倍率为8.0-100倍;
2)超深景深,适合薄膜、厚膜、深腔(LTCC)三类键合丝缺陷扫描;
3)采用特种组合光源实现高亮环形及同轴光可切换照明;
4)快速扫描拼图,扫描速度>30mm2/秒;
5)超长物镜工作距离>50mm;
6)高品质快速扫描成像系统;
7) 自带全功能缺陷扫描及分类软件,同时支持长方形及半圆件检测;
核心特点:
1、组合环形光照明,凸显键合 细节,保障精确检测;
2、高速扫描拼图及缺陷标注系统;
3、超长工作距离,实现薄膜、厚膜深腔(LTCC)各类器件缺陷扫描;
核心系统配置
用途
键合工艺扫描- 缺线、断线、弯线、交叉丝
型号
Wibon-2K
工作台
全自动扫描工作台
行程:
110mm x 110mm
220mm x 220mm
反馈系统
线性反馈系统
解析率:
0.1um/1.0um可选
聚焦
电动聚焦系统,快速锁定焦平面,保障高效精确检测
探测系统
特殊显微组合设计
快速扫描成像系统
综合放大倍率
8.0x~100x
超长工作距离
> 50mm
照明方式
组合环形光源及同轴光可切换照明
软件系统
高性能键合扫描及分析算法软件系统
检查性能
高品质自动抓图及拼图功能,确保无漏检;(自动扫描误检率<5%,结合人工廻检可确保无漏检)
扫描速度
> 30mm2 / s
隔震系统
气浮隔震系统
紧凑电气操控
标配外观尺寸
长:1200mm 宽:800mm 高:1500mm
键合检查原理说明
“四要素法”编程:
对于每一个产品序列的基板,在大量检测前由工程师对标准板进行编程(Bonding MAP),编程的基本要素为
1、器件的中心位置;
2、键合起始点及允许误差;
3、键合终点及允许误差;
4、键合路径,在检测过程中会根据键合起点及终点误差计算路径允差;