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PR06 白光干涉仪(三维形貌)

具体成交价以合同协议为准

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    北京普瑞微纳科技有限公司位于中关村国家自主创新示范区。公司专注于光电精密测量技术研发领域,探索测量仪器制造技术,着重发展*电子光学、精密机械以及与计算机相结合的光、机、电一体化的电子光学测量仪器,是集研发、制造、销售及服务为一体的专业化公司。

   公司拥有一支包括光学、精密机械、软件、图像处理等专业的研发团队,技术总监为多年在国外从事光学精密测量和控制领域的专家、核心成员均具有国外专业机构多年的研发背景,大多为学有所成的人才。公司
有多项自主核心,在技术的发展和创新方面处于业界*地位。采用日本*技术研制成功的PR05/06系列白光干涉三维形貌仪,性能达到同类产品的*水平,*了国内在这一领域的产品空白。

   公司致力于成为超精密光电测量仪器、在线精密检测设备、精密控制系统、数字信号处理系统、机器人手臂等领域的*企业。用创新的理念、*的技术、优质的产品和专业化的服务,成为用户Z有价值和值得信赖的合作伙伴。

白光干涉仪、膜厚测量仪、SPI、机器人手臂

 

产品原理
照明光束经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据干涉条纹明暗度解析出被测样品的相对高度。
产品特点
1.       非接触、高稳定性、高速度测量 
2.       高精度测量、结果可作为计量标准:垂直解析度可达0.1nm、水平解析度可达0.1um
3.       大面积测量 自动缝合技术实现大面积高精度测量
4.       功能强大、使用便捷的测量分析软:PRVision应用软件可提供多项测量参数
5.       适用范围广泛 可以测量多种类型样品的表面微细结构
6.       真正意义的免维护及优良的性能价格比
软件功能
1.       硬件控制、二维载物平台自动控制、光学系统自动聚焦、干涉信号处理
2.       测量结果显示及各种方式处理:二维平面和三维立体显示、任意放大或缩小显示图像、调平和多角度自由旋转
3.       粗糙度测量及结果显示:包括评价区域位置信息和多种粗糙度评价参数
4.       线宽测量及结果显示:采用亚像素插值处理技术,线宽测量精度zui高可达0.1um、表格形式显示各种线宽结果、根据事先确定的评判基准,实现线宽自动评判功能
5.       多幅相邻区域测量结果自动缝合
应用领域
在众多高科技研发及产业中,诸如半导体、微机电、平面显示器与电子封装等,由于微结构表面轮廓的准确性决定产品的功能和效能,在其制成过程中皆需针对微结构的表面轮廓品质进行检测,PR系列产品提供多种表面参数量测功能如断差高度、线宽、面积、体积、粗糙度、薄膜厚度及平整度以满足业界及研究部门之需求。无论是抛光表面还是粗糙表面,只要反光率超过1%,就能被*检测出来。半导体硅片及器、MEMS装置表面、平面液晶显示器、薄膜厚度、金属摩擦学、陶瓷基板表面、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究。

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