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MPS150 Formfactor手动探针台

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

产品概述

入门手动探针台,用于表面耦合和水平边缘耦合

FormFactor推出了一种具有成本效益的硅光子学测量解决方案,以支持新兴应用的基础研究工作。该系统的设计是FormFactor多年开发自动光子测量系统的经验 - 现在根据大学和其他入门用户的需求量身定制。

MPS150-SiPh 可确保光纤可以精确对准,从而在不发生物理接触的情况下将光耦合进出设备。MPS150-SiPh 利用其直观的设计,是经验不足的用户发现光子学并获得高精度测试结果的解决方案。

主要特点

镜面反射镜技术

  • DUT 支架可实现高精度水平观察

  • CalVue 和 DieVue 使用户能够调整光学探头以实现佳测量性能

  • 允许对单根光纤和光纤阵列进行表面耦合和水平边缘耦合

倾斜底座定位器

  • 在 6 个自由度内手动或自动调整入射角

  • 利用标准光纤支架

光学性能

  • 系统可以配备FormFactor革命性的eVue数字成像系统或高性能SlimVue显微镜

  • eVue 的革命性设计在光学分辨率、数字变焦和实时运动视频之间实现平衡。该系统使导航、观察和测量设备比以往任何时候都更快、更智能。

  • SlimVue™ 显微镜可减轻光子学集成电路 (PIC) 上小焊盘探测所需的高放大光学元件的机械干扰。

  • 该系统使用户能够比以往任何时候都更快、更智能地导航、观察和测量设备  

  • Spectrum 软件允许用户测量 z 位移 

模块化解决方案

  • 如果用户的测量要求发生变化,可以很容易地更换探针硬件

  • 提供大的测量灵活性:压板扩展件可配置为执行 3 端口光子学和/或电气测量

  • 可以配置自动定位器以获得更快的测量结果。

易用性

  • 符合人体工程学的简单设计,操作舒适轻松

  • 直观的操作工作流程使所有经验水平的测量都尽可能简单

  • 通过拉出阶段快速且符合人体工程学地更换 DUT




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