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CM300xi型 Formfactor探针台

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

CM300xi 探针台可应对极其复杂的环境带来的测量挑战,例如在长时间和多种温度下在小焊盘上进行无人值守的测试。在 EMI 屏蔽、光密和无湿气的测试环境中,为各种应用实现了的测量性能。热管理增强功能和实验室自动化功能可提高产量并缩短数据获取时间。对于低温测试,FormFactor的开放式IceShield™环境也可用于CM300xi。

CM300xi 支持接触式智能™ - 一种可实现自主半导体测试的技术。创新的系统设计与先进的图像处理技术强强结合,提供了一个独立于操作员的解决方案,可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。

CM300xi探针台与物料处理单元相结合,将全自动晶圆测试与最高的精度和灵活性相结合。该系统可以处理多达 50 个 200 或 300 毫米的晶圆,这些晶圆以 SEMI 标准晶圆盒的形式提供。

可选的 ReAlign™ 功能提供了独立于主 eVue 显微镜执行“离轴"探头到焊盘对准的功能。ReAlign 是不允许从上方观察焊盘和探针尖的探针卡的理想工具。例如,垂直和金字塔探针卡就是这种情况。ReAlign 硬件包括 2 个额外的摄像头:向下的“压板摄像头"直接集成到 CM300xi 的压板中,用于观察垫;向上看的“ChuckView Camera"用于表征探针尖。重新对齐向导允许使用预定义的算法轻松快速地设置不同的探针卡,如金字塔、阿波罗、悬臂等。ReAlign 可以自动管理温度变化,无需操作员干预。




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