进口parylene派瑞林镀膜设备Series 3000 CR系统专为需在洁净室环境中运行的工艺应用而设计。广泛应用于多个行业，包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。
Series 3000 CR系统一体化泵架能够显著减少颗粒物排放，从而为洁净室在最严苛的环境下提供更为清洁和紧凑的整体解决方案。 因在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间，该系统已被全球众多洁净室设施，例如医药、航空航天、汽车、高科技电子及高等院校广泛采用，且其应用范围与使用数量仍在持续增长。
Series 3000 CR系统具有以下优势：
具备模块化组装结构，并提供可调节尺寸的工艺腔室；
系统支持多种可选配置，包括转盘装置及适配不同基板类型的夹具；
工艺腔室的装载操作于洁净室内完成；
卸载则通过位于过渡区域（灰区）的气闸门实现。
进口parylene派瑞林镀膜设备Series 3000 CR
| 尺寸 | L:2095mm W:800mm H:1450mm |
| 重量 | 300kg |
| 腔体容量 | 140/200/300/800 L |
| 工艺腔体 | 500mm Ø，H: 700mm (140 L) 600mm Ø，H: 700mm (200 L) 700mm Ø，H: 800mm (300 L) |
| 等离子源 | 2.45GHz, 1200 W |
| 气路 | 1 路气体通道（内置工艺腔室的气体分配系统），最多可扩展至 3 路气体通道。 |
| 冷却系统 | 8L（机电式冷阱） |
| 真空连接 | DIN 40 ISO-KF |
| 排气 | 电磁式排气阀 |
| 真空泵 | 抽速75m³/h |
| 电气连接 | 三相五线制，交流 50 Hz，电压 400 V / 240 V，最大功率消耗 8.5 kW |
我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜设备既有适用于科研领域的实验型机型，也有适用于工业量产领域的工业机型。同时，我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源，实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理，从而提高薄膜的粘附性。另外，我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计，在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间。
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