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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>薄膜生长设备>化学气相沉积设备>Labcoater Series 100 Parylene派瑞林镀膜设备

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Labcoater Series 100 Parylene派瑞林镀膜设备

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 那诺中国有限公司
  • 品牌
  • 型号 Labcoater Series 100
  • 产地
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2025/6/30 16:34:00
  • 访问次数 146

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那诺中国有限公司专注于为大中华区域(包括中国大陆、香港、澳门和中国台湾)的高校、科研院所、企业研发与生产等企业机构提供高性能、高性价比、定制化的薄膜工艺加工设备及科学分析检测仪器。


那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备(包含磁控溅射、热蒸镀、电子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、离子束、DRIE、晶圆兆声清洗机等)。


那诺中国提供英国KORE基于飞行时间的质谱仪,包含飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)、质子转移反应(PTR)质谱仪、电子轰击电离(EI)质谱仪等。





ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,晶圆清洗机,PA-MOCVD,飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)

Parylene派瑞林镀膜设备Labcoater Series 100是一款具备可更换工艺腔室的高性价比系统,广泛应用于航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。


Parylene派瑞林镀膜设备


该型号Parylene派瑞林镀膜设备具有以下特点:

1、结构紧凑、配有移动式支架及小型冷阱,安装位置灵活,便于实验室布局调整;

2、特别适用于小批量生产及科研实验场景;

3、可更换真空腔室设计有助于提升设备清洁效率;

4、配备可拆卸透明上盖,便于实时观察与基材更换操作;

5、系统集成自动工艺控制功能,并支持网络连接,便于数据管理与远程监控。


Labcoater Series 100派瑞林真空镀膜系统:

尺寸
L:850mm  W:900mm  H:1600mm
重量
80kg
腔体容量
30L
工艺腔体
直径300mm(其他尺寸可定制)
冷却系统
4L(机电式冷阱)
真空连接
DIN 25 ISO-KF
排气
电磁式排气阀
真空泵
抽速10m3/h
电气连接三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜机既有适用于科研领域的实验型机型,也有适用于工业量产领域的工业机型。同时,我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源,实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理,从而提高薄膜的粘附性。另外,我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计,在小占地面积下提供高性能技术,节约大量的超净间占地空间。


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