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射频等离子体处理仪

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我们注于等离子(PLASMA)清洗工艺技术和相关装备的研发生产,核心技术源自欧美二十年等离子体行业经验。公司核心团队来自中科院等离子体物理研究所、德国Diener、中国科学技术大学、北京大学等国内科研机构,其开发的等离子清洗装备已广泛应用于高校、半导体、汽车、电子行业、3C行业、印刷行业生物等行业域。深光达科技成立至已为清华大学、西安交通大学、比亚迪、兰州大学、深圳大学、香港大学、提供过等离子处理设备和解决方案, 我们将不断为材料表面处理开发创新方案,致力于为用户提供等离子表面处理与检测整体解决方案。深圳深光达科技有限公司深耕等离子技术域十余载,表面处理解决方案服务商。公司自主研发的真空、大气常压及微波等离子清洗设备,精准清洗与活化,设备连续运行稳定性达99.6%以上,通过ISO 9001/14001双体系认证。其低温真空等离子去胶机**在半导体封装环节实现每小时300片晶圆的量产处理,刻蚀均匀性误差<3%,助力客户良品率提升20%+。针对汽车内饰、医疗导管等复杂曲面,**常压旋转喷枪系统**可完成360°处理,表面张力值稳定提升至72mN/m以上。现已在富士康、比亚迪等200+企业产线中实现7×24小时不间断作业,设备MTBF突破8000小时,以航空品质重新定义工业清洗标准。主营产品有等离子清洗机,等离子去胶机,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,反应离子刻蚀机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪

 

 

等离子清洗机,等离子清洗器,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪

产地类别 国产 应用领域 综合

产品简介:VPS-MF05R是一款旋转型真空等离子处理仪,主要用于处理各种粉末、粉体材料(尤其是纳米粉体材料),例如炭黑、碳纳米管粉末、硼粉、铝粉、铁粉、橡胶粉、聚乙二醇粉末、蜡基温拌添加剂粉、催化剂粉体、云母粉、二氧化硅、高分子聚合物粉体等材料的表面活化改性。通过等离子体中高能粒子轰击粉体表面,改变了粉体表面的形貌后引入各种活性基团,同时等离子处理可以除去表面吸附的一些杂质,从而达到改善粉体亲水性,分散性,相容性,流动性,催化性等目的。


射频等离子体处理仪应用:提升相容性、改善分散性、提高催化速率、提升亲水性、提高流动性、引入官能团。


射频等离子体处理仪特点:动态滚筒旋转处理;全位均匀处理;一机两用(不旋转相当于普通真空等离子处理仪);粉体过滤系统(防止粉末吸入真空泵,影响真空泵寿命)低能耗、污染小、处理时间短、效果等明显的特点。


射频等离子体处理仪


产品参数:

型号

VPS-MF05R

腔体材质

316不锈钢

旋转内腔尺寸

Φ150x200Lmm(3.5L)

腔体转速

0-30r/min可调

功率

0-300W连续可调

等离子发生器频率

40kHz

控制系统

4.3寸触摸屏+PLC

气体流量

气体流量0-500 SCCM可调

提供进气气路

标准2路进气,常用气体:氧气,氩气,氮气,氢气(腐蚀性气体需定制)

极限真空度

1Pa

供电电源

AC220V/50Hz

外形尺寸(LxWxH)

600mm(W)×700mm(D)×500mm(H)






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