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小型等离子发生器

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我们注于等离子(PLASMA)清洗工艺技术和相关装备的研发生产,核心技术源自欧美二十年等离子体行业经验。公司核心团队来自中科院等离子体物理研究所、德国Diener、中国科学技术大学、北京大学等国内科研机构,其开发的等离子清洗装备已广泛应用于高校、半导体、汽车、电子行业、3C行业、印刷行业生物等行业域。深光达科技成立至已为清华大学、西安交通大学、比亚迪、兰州大学、深圳大学、香港大学、提供过等离子处理设备和解决方案, 我们将不断为材料表面处理开发创新方案,致力于为用户提供等离子表面处理与检测整体解决方案。深圳深光达科技有限公司深耕等离子技术域十余载,表面处理解决方案服务商。公司自主研发的真空、大气常压及微波等离子清洗设备,精准清洗与活化,设备连续运行稳定性达99.6%以上,通过ISO 9001/14001双体系认证。其低温真空等离子去胶机**在半导体封装环节实现每小时300片晶圆的量产处理,刻蚀均匀性误差<3%,助力客户良品率提升20%+。针对汽车内饰、医疗导管等复杂曲面,**常压旋转喷枪系统**可完成360°处理,表面张力值稳定提升至72mN/m以上。现已在富士康、比亚迪等200+企业产线中实现7×24小时不间断作业,设备MTBF突破8000小时,以航空品质重新定义工业清洗标准。主营产品有等离子清洗机,等离子去胶机,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,反应离子刻蚀机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪

 

 

等离子清洗机,等离子清洗器,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪

产地类别 国产 应用领域 综合

产品简介:

小型等离子发生器利用等离子体来清洗物质表面,以达到清洁,活化、改性、刻蚀等目的。可以应用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

小型等离子发生器主要由控制单元、真空腔体和真空泵三个部分,通过数控技术,可以轻松对各种参数进行调节,因为清洗过程在真空腔室中进行,所以清洗后不用干燥,操作简单,效率高。

小型等离子发生器

   

特点:欧美放电技术,专业型放电结构,科学仿真等离子体分布均匀,处理效果均匀。

产品应用:提高亲水性、改善粘接性、表面微刻蚀、有机物去除、氧化物还原、提高印刷油墨附着力。
 

产品参数:

型号

VPS-RF160

等离子频率

13.56MHz   自动阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

真空泵

油泵/干泵(可选)

功率

0-1000W可调

腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)

腔体尺寸

560(W)*610(D)*500(H)mm

腔体容积

165L

单层有效处理面积

W520mm x D520mm

气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)

处理层数

8层(可定制)

控制方式

PLC+触摸屏

电源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

950mm(L)×1300mm(W) ×1850 mm(H)





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