LPA812-3 美国 Logosol 晶圆预对准器

美国 Logosol 晶圆预对准器 LPA系列 LPA812-3-V40P1-S23-B-V500P

Logosol 久经考验的技术和高标准的可靠性是业内广泛的预对准器系列的基础。Prealigners 产品系列支持处理 45 毫米至 480 毫米的物体，具有从不透明到全透明的任何透明度级别。Logosol 特别的一体化设计和多功能控制软件实现了与各种半导体平台的直接兼容性和接口。

美国 Logosol 晶圆预对准器 LPA系列 LPA812-3-V40P1-S23-B-V500P

创新、高性能、Class 1兼容
特别的一体式设计消除了外部控制器和互连电缆，同时保持了即插即用的兼容性
扫描电子、运动控制器和电源均包含在工业标准尺寸内
由超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、即时响应
优良的扫描电子学，能够检测透明、半透明和不透明的物体，无需在不同尺寸之间进行机械重新定位
无缝接口与晶圆处理机器人，支持所有晶圆尺寸从45mm到480mm，以及相应尺寸的方形基板
Logosol控制软件具有一套全面的命令集，可实现与各种半导体平台的兼容性和接口

无缝接口与晶圆处理机器人，支持所有晶圆尺寸从45mm到480mm，以及相应尺寸的方形基板
Logosol控制软件具有一套全面的命令集，可实现与各种半导体平台的兼容性和接口
快速对齐循环时间有助于实现最大系统吞吐量
可作为独立设备使用，一也可作为与晶圆处理机器人协同工作的嵌入式设备使用
保留选项包括真空、非真空和边缘处理