BUSCH普旭,Rietschle里其乐/伟力,Leybold莱宝,Becker贝克,英国BOC Edwards爱德华,日本ULVAC爱发科,Orion好利旺,TAIKO大晃,法国ALCATEL阿尔卡特,Pfeiffer普发等。
泵轴位置 | 卧式 | 输送介质 | 油泵 |
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叶轮数目 | 单级 | 应用领域 | 食品/农产品,化工,生物产业,能源,制药/生物制药 |
供应日本爱发科ULVAC真空泵型号齐全
ULVAC(爱发科)作为真空技术企业,其真空泵产品广泛应用于多个高科技和工业领域,主要涵盖以下行业
1. 半导体与集成电路制造
- 应用场景:晶圆加工、光刻、刻蚀、薄膜沉积(CVD/PVD)、离子注入等关键工艺。
-产品优势:高洁净度、耐腐蚀(如干式泵)、稳定维持高真空环境,满足半导体制造的严苛要求。
2. 平板显示(FPD)与光伏行业
- LCD/OLED制造:用于镀膜、蒸镀、封装等环节,确保无尘真空环境。
- 太阳能电池:薄膜太阳能板的生产(如硅基或钙钛矿电池的沉积工艺)。
3. 工业真空设备
-真空镀膜:光学镜片、汽车玻璃、装饰镀膜等,通过磁控溅射或蒸发镀膜实现。
-真空热处理:金属材料的退火、钎焊、淬火等,避免氧化。
4. 科研与实验室
- 加速器与核聚变装置:提供真空环境。
- 表面分析仪器:如电子显微镜(SEM/TEM)、质谱仪等。
5. 电子元器件
- 电子管、传感器制造:维持封装真空度,提升器件性能与寿命。
6. 医疗与生物技术
- 医疗器械:如真空冷冻干燥(冻干机)用于药品、疫苗保存。
- 医疗设备:部分诊断设备的真空系统。
7. 其他工业领域
- 食品包装:真空包装机延长食品保质期。
- 锂电池制造:电极材料的干燥与注液工艺。
ULVAC核心技术特点
爱发科(ULVAC)真空泵的性能特点可从以下几个关键词展开:
1. 高抽速
- 爱发科真空泵具备高效的抽气能力,能在短时间内达到所需的真空度,适用于快速排气的工业场景。
2. 极限真空度高
- 部分型号(如涡轮分子泵、低温泵)可实现超高真空(10⁻⁶ Pa 甚至更低),满足半导体、科研等严苛需求。
3. 低振动与低噪音
- 采用精密机械设计和减振技术,运行平稳,减少对敏感设备(如电子显微镜、镀膜机)的干扰。
4. 耐腐蚀性
- 部分型号(如干式螺杆泵、化学防腐泵)采用特殊涂层或材料,可处理腐蚀性气体,适用于化工、光伏等行业。
5. 节能环保
- 干式泵(无油设计)避免油污染,减少维护成本,符合洁净室和环保要求;部分型号配备节能模式。
6. 长寿命与低维护
- 耐用结构设计(如磁悬浮轴承技术)减少磨损,延长使用寿命,降低停机时间。
7. 多功能适配性
- 产品线覆盖旋片泵、罗茨泵、分子泵等多种类型,可满足从粗真空到超高真空的不同应用场景。
8. 智能控制
- 部分型号支持远程监控和自动化控制,便于集成到智能制造系统中。
如需具体型号的性能参数,建议参考爱发科技术手册或联系其技术支持。
- 多样化泵型:包括旋片泵、涡旋泵、分子泵、低温泵等,适配不同真空需求。
- 节能与环保:部分型号采用干式设计,减少油污染,符合绿色制造趋势。
ULVAC的真空泵以高可靠性和定制化解决方案著称,尤其在半导体和显示行业占据重要位置具体选型需根据工艺的真空度、气体类型及洁净度要求确定。供应日本爱发科ULVAC真空泵型号齐全