关于隔膜式干泵的详细介绍

工作原理

结构特点

• 无油设计：气体接触区域不使用油或液体，避免了油蒸气对工作环境的污染，可实现清洁排气，特别适合需要无油清洁气氛的应用，如半导体制造、电子设备生产等领域。

• 结构简单：主要由隔膜、偏心轴、连杆、阀门等部件组成，整体结构相对简单，这使得设备的维护和保养较为方便，降低了维修成本和停机时间。

• 密封性好：隔膜的良好密封性能，有效防止了气体泄漏，保证了泵的抽气效率和真空度。

性能特点

• 清洁真空：能够提供无油、清洁的真空环境，满足对真空度要求较高且需要避免油污染的工艺需求，如光学镀膜、真空镀膜、电子束焊接等。

• 低噪音和低振动：运行过程中产生的噪音和振动较小，有利于营造安静的工作环境，减少对周围设备和人员的影响。

• 大气压力下可运作：可以在大气压力下启动和运行，不需要额外的辅助设备来达到初始真空度，使用较为便捷。

• 抽气能力有限：由于隔膜的弹性变形能力有限，隔膜式干泵通常只能实现相对较低的抽速，且难以获得高真空度，一般适用于对真空度要求不是的场合。

• 存在 “死区”：泵内存在一个被称为 “死区” 的容积，此处的气体无法被移至排气管路，随着进气压力降低，流入的新气体量越来越少，导致容积效率持续降低，限制了泵的压缩比和最终真空度。

应用领域

• 半导体与电子工业：用于 IC 的晶圆吸附装置、真空拉链、薄膜吸附等工艺，为半导体制造过程提供清洁的真空环境，避免芯片受到油污污染。

• 医疗领域：如医疗机械中的真空镊子、血液分析设备、牙科设备等，可提供无油的真空源，确保医疗操作的安全性和可靠性。

• 实验室研究：常用于真空排气、真空浓缩、过滤、脱气、消泡等实验过程，为科研人员提供稳定、清洁的真空条件，保证实验结果的准确性。

• 包装机械：在食品、药品等行业的包装过程中，用于真空包装，延长产品的保质期，防止产品氧化和变质。

• 光学机械：如光学镀膜、镜片制造等工艺中，需要高精度的真空环境，隔膜式干泵可满足其对清洁真空的要求，确保光学元件的质量和性能。