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AS-one 快速退火炉

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

真空快速退火炉AS-OneAS-One是一种通用的RTP系统,可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺。可以搭配分子泵实现高真空下热处理工艺。最高温度1500 ℃,最快升温速率200℃/Second。

AS-One是一种通用的RTP系统,可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺。

可以搭配分子泵实现高真空下热处理工艺。

最高温度1500℃,升温速率200℃/Second。

全程PC软件控制升温程序,保证温度不过冲,控温精度准确。

快速退火炉应用:

RTA(快速热退火)

RTO(快速热氧化)

欧姆接触退火

植入退火

石墨烯和hBN的快速热化学气相沉积RTCVD

硒化,硫化

结晶和致密化

产品特点:

1、红外卤素灯管加热,冷却采用风冷(低噪音水平,无需压缩空气)

2、加热由功率控制而非电压控制,避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题,保证了良好的重现性及均温性,即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到最初的热处理效果

3、石英腔体,腔体冷却采用水冷,冷壁设计,双层不锈钢

冷壁水冷技术优点在于:

1、无记忆

2、工艺重复性高

3、冷却速度快

4、反应腔室的设计,气体的进入口设计在wafer的表面,避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性

5、快速数字PID控温

6、热电偶配合高温计控温,测试样品的温度

7、大气和真空工艺均适合,净化气体配针阀

8、最多5路工艺气体,配数字质量流量控制器

9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度

10、可选配石墨托盘表面涂SiC薄膜设计,用于小样品测试

11、可选配分子泵,用于高真空测试

产品标准配置及规格参数:

1、样品尺寸:AS-One100:4-inch;AS-One150 :6-inch;

2、温度范围:

AS-One100室温~1250 ℃;(室温~1500 ℃可选)

AS-One150室温~1200 ℃;(室温~1300 ℃可选)

3、升温速率:

AS-One100 :0.1 ℃~250℃/s ;

AS-One150 :0.1 ℃~200℃/s ;

4、温度控制:快速数字PID控制;

5、热电偶:2个K型热电偶;

6、低温高温计温度范围:150℃~1100℃;

7、高温高温计温度范围:400℃~1500℃;

8、工艺气体气路配质量流量计;

9、配置真空泵及真空规。

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