Miracle Inspection 晶圆级检测显微镜

Miracle Inspection系列搭载激光缺陷标记的8/12吋 晶圆级检测显微镜在基于蔡司光学的基础上，采用了模块化的设计方式。通过电动位移台和各个功能模块之间的相互配合，在实现对晶圆级样品自动上下料的同时，可在多个维度上对其进行加工选择和自动检测，从而高质量的完成客户的需求，并一键式自动生成测试报告，实现整套工作流程的一致性朔源。

搭载激光缺陷标记的8/12吋 晶圆级检测显微镜产品亮点：

1.XY手动运动台动运动台

8吋晶圆XY手动/电动运动台模组

XY运动轴精度：≤2 μm

行程：205 mm * 205 mm

XY运动轴带离合器手柄，可快速移动

2.Z轴运动台

Z轴同时配备电传手轮和码盘

Z轴微调精度：≤1 μm

行程：≥36 mm

3.物镜模组

采用蔡司原装的手动/电动物镜切换装置

蔡司EpiPlan消色差物镜，EPN半复消色差物镜以及EPA复消色差物镜

4.光源模组

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

5.晶圆放置模组

兼容多尺寸晶圆的载物台（可兼容4英寸，6英寸和8吋晶圆片）

保留透射光路，晶圆载物台可拆卸，支持液晶面板的检测功能

6.成像观察模组

适配蔡司的Axiocam系列相机，海康威视系列相机

适配蔡司的目镜（选配）

提供明场/暗场的观察方式，可选配微分干涉，荧光和偏光的观察方式

7.远程控制手柄

物镜切换装置按钮

照明光光强控制按钮，并且可以随物镜/观察方式自动调节当前光强

反射照明和透射照明切换按钮

电传Z轴聚焦旋钮，XY运动轴遥感

缺陷标记和主动对焦快速确定按钮

8.主动对焦模组

可兼容主动对焦模组，实现50×物镜下对被观察的实时对焦功能

9.缺陷标记模组

可兼容缺陷标记模组，实现对样品缺陷部分进行实时标记 晶圆搬运模组

10.晶圆搬运模组

可兼容晶圆搬运模组，实现晶圆片的自动上下料