XU-100 电镀镀层测厚光谱仪膜厚分析仪

电镀镀层测厚光谱仪膜厚分析仪XU-100，下照式设计、性价比高、适用性强，轻松快速解决各种平面件、异形件及电镀液的检测，且能自动判定测试结果。

电镀镀层测厚光谱仪膜厚分析仪性能优势

● 检测速度快

即放即测

● 变焦装置算法

可对各种凹槽异形件进行检测，凹槽深度测量范围可达0-30mm

● 高精密微型移动滑轨

微米级移动精度，快速精准定位微小样品

● 更高的性价比

制造工艺升级，更具性价比，节省使用成本

● 使用寿命长

模块化设计，聚焦节能，搭载自动休眠模式，延长使用寿命

技术参数

型号

XU-100

测量元素范围

CI(17)/AI(13)-U(92)

涂镀层分析范围

Li(3)-U(92)

RoHS

可选配

算法

自主研发的EFP算法

软件操作

人性化封闭软件，自动判断故障提示校正及操作步骤，避免误操作

X射线装置

微聚焦射线管

准直孔

Ф0.1mm/Ф0.2mm/0.5mm/5mm(选配四准)

信号及接收

Pro-SD处理器+PC/DPP+FAST SDD(选配)

滤光片

选配集成嵌入式多滤光片切换装置

微光聚焦技术

最近测距光斑扩散度 10%

测量距离

具有距离补偿功能，可改变测量距离测量凹凸异形样品，变焦距离可达0-30mm

样品观测

1/2.7"彩色CCD，变焦功能

对焦方式

高敏感镜头，手动对焦

放大倍数

光学38-46X，数字放大40-200倍

仪器尺寸

550mm*360mm*410mm

样品舱尺寸

长400mmx宽320mmx高150mm

样品台移动

选配高精密XY手动移动平台

可移动范围

50mm*50mm