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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>热工艺设备/热处理设备>退火炉> 全自动快速退火炉

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全自动快速退火炉

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  武汉赛斯特精密仪器有限公司是武汉市专业研发,以力学试验机仪器为主,同时销售各种、中低端分析仪器。现有员工60多人,公司成功开发了PCI放大采集卡和中文版试验软件,并采用全数字化,操作简捷,*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等标准、国家标准、行业标准的要求,公司亦通过了ISO9001质量体系认证和国家计量体系认证,荣获了“武汉市第九界消费者满意单位”的称号。
  产品广泛应用于电子、高校、政府研究机构、环保机构、石油化工、纺织制造、第三方检测机构、*别研究院、新能源、集成电路、芯片、封装测试、半导体行业、显示器领域、光电材料、锂电池、机械生产等领域。并与武汉理工大学、华中科技大学等建立了长期合作,每年投入大量研究经费,招揽各方优秀的技术人才加盟突破国内技术壁垒,不断攻克新的技术难题,另外公司还积极拓展海外业务,产品远销越南,印度,埃及等国家和地区。
  本着“专业品质,专业服务”为宗旨,以“科技、品质、竞争、创新”为理念,通过不断汲取新的技术,新的理念,继续开发研制新产品,并为广大客户提供优质的售前,售中,售后服务。热烈欢迎广大新老朋友业函,来电,莅临我公司参观指导!


 

实验室检测仪器,测试仪器设备等

产品特点:

红外卤素灯管加热 ,冷却采用风冷

灯管功率 PID 控温,可精准控制温度升温 ,保证良好的重现性与温度均匀性

大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理

标配两组工艺气体,最多可扩展至 6 组工艺气

采用平行气路进气方式,气体的进入口设置在 Wafer 表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好 的温度均匀性

技术参数:

大产品尺寸最大处理 200×200mm,兼容8寸,及8寸以下wafe

腔体数量:单腔

腔体温度监控:<70℃

温度范围:室温~1250℃

温度控制重复性:±2℃

恒温持续时间:可依据要求编程

控温区域:多组控温区域,保证恒温区温度稳定性

抽气速率:500SLM

漏率:30mTorr/min

SCR 控温区域:16 组控温区

降温速度:约 200℃/min(1000~400℃) 不可编程

持温时间:可依据制程需求设定持温时间

灯管电流精度:≤±0.1amp

灯管:平均 1500 小时以上使用寿命,上下两面同时加热


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