产品特点:
红外卤素灯管加热 ,冷却采用风冷
灯管功率 PID 控温,可精准控制温度升温 ,保证良好的重现性与温度均匀性
大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理
标配两组工艺气体,最多可扩展至 6 组工艺气
采用平行气路进气方式,气体的进入口设置在 Wafer 表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好 的温度均匀性
技术参数:
最大产品尺寸最大处理 200×200mm,兼容8寸,及8寸以下wafe
腔体数量:单腔
腔体温度监控:<70℃
温度范围:室温~1250℃
温度控制重复性:±2℃
恒温持续时间:可依据要求编程
控温区域:多组控温区域,保证恒温区温度稳定性
抽气速率:500SLM
漏率:30mTorr/min
SCR 控温区域:16 组控温区
降温速度:约 200℃/min(1000~400℃) 不可编程
持温时间:可依据制程需求设定持温时间
灯管电流精度:≤±0.1amp
灯管:平均 1500 小时以上使用寿命,上下两面同时加热